除正确地操作和使用外，维护保养关系到仪器的技术指标和分析性能，能延长仪器的使用寿命。结合厂家专业指导，根据仪器使用说明书，制定合适的维护保养规程显得非常重要。原子荧光仪的维护保养要求如下。
①保持空心阴极灯前端石英玻璃窗的清洁。不用手触摸；如发现玷污，可用脱脂棉蘸取30％乙醇和70％乙醚的混合液拧干后擦拭干净。
②使用蠕动泵管时，应调节合适的泵管压力，保证合适的松紧程度，以减缓其老化速度；避免泵管空载运行；适时更换老化的泵管。此外，定时滴加润滑硅油可有助于提高信号稳定性并延长泵管寿命。
③更换电点火炉丝时，应严格按照仪器使用手册进行；只能选用仪器专用的炉丝；不能随意剪短炉丝，保证炉丝电阻值与输入电压的匹配。
④定期清洁或更换原子化器中的石英炉芯，减少附着的反应残留物对测量的影响。石英炉管可用20％～30％王水浸泡24h左右，再用蒸馏水清洗干净，晾干或置于烘箱内烘干。
⑤实验中避免酸、碱等化学物质对仪器的腐蚀。
⑥仪器及空心阴极灯都不宜长期闲置不用。每月至少开机预热半小时，以保障仪器和灯的性能，延长使用寿命。
⑦测量结束后，应用蒸馏水或去离子水清洗进样系统，并排空积液；保持仪器表面的洁净。
⑧按要求定期进行校准或期间核查。
